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        飛納掃描電鏡主要分為電子源、電子束形成和探測系統

         更新時間:2024-02-01 點擊量:252
          飛納掃描電鏡(Field-Emission Scanning Electron Microscope,簡稱FE-SEM)是一種使用電子束顯微鏡技術的儀器。它利用電子束與樣品相互作用產生的像素級探測信號,對樣品進行高分辨率、高放大倍數的觀察和分析。主要分為三個關鍵環節:電子源、電子束形成和探測系統。
         
          電子源是飛納電子槍,其結構由鎢絲和陽極構成。在高溫下,鎢絲上的電子會被加熱到足夠高的能量,使電子克服鎢絲表面電子層的束縛,從而產生豐富的電子。
         
          通過電子透鏡系統對電子束進行聚焦和調制,使得電子束得到形態和強度。電子透鏡系統通常由多個電磁場透鏡和電偶極透鏡組成,能夠控制電子束的發射電流、聚焦和調制等參數。通過調節透鏡的參數,可以獲得所需的電子束直徑和掃描速度。
         
          飛納掃描電鏡使用法拉第杯(或稱二次電子檢測器)作為探測器。當電子束照射到樣品表面時,樣品與電子產生相互作用,其中包括二次電子的發射。這些二次電子在電場的作用下被加速并收集到法拉第杯中。根據二次電子的產生位置和數量,通過收集的信號可以生成最終的圖像。
         
          飛納掃描電鏡的應用:
         
          1.材料科學:觀察材料的表面形貌、晶體結構、納米顆粒等微觀結構,對材料的組成和性質進行研究。
         
          2.生物科學:應用于生物領域,可以觀察生物細胞、組織和微生物等微觀結構,研究生物過程和生物材料的性質。
         
          3.半導體工業:觀察和評估半導體器件的制造質量,同時可以進行故障分析和故障定位。
         
          4.納米技術:觀察納米顆粒、納米結構和納米材料的性質和形貌,對納米技術的研究和應用提供支持。
        飛納掃描電鏡

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